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高精密線路板細密導線技術(shù)的說明
高精密線路板
細密導線技術(shù):今后的高細密線寬/間距將由0.20mm-0.13mm-0.08mm—0.005mm,才能滿足SMT和多芯片封裝(Mulitichip Package,MCP)要求。因此要求采用如下技術(shù)。
①基材采用薄或超薄銅箔(<18um)基材和精細表面處理技術(shù)。
②工藝采用較薄干膜和濕法貼膜工藝,薄而質(zhì)量好的干膜可減少線寬失真和缺陷。濕法貼膜可填滿小的氣隙,增加界面附著力,提高導線完整性和精度。
③電沉積光致抗蝕膜采用電沉積光致抗蝕膜(Electro-deposited Photoresist,ED)。其厚度可控制在5~30/um范圍,可生產(chǎn)更**的精細導線,對于狹小環(huán)寬、無環(huán)寬和全板電鍍尤為適用,目前全球已有十多條ED生產(chǎn)線。
④平行光曝光技術(shù)采用平行光曝光技術(shù)。由于平行光曝光可克服“點”光源的各向斜射光線帶來線寬變幅等的影響,因而可得線寬尺寸**和邊緣光潔的精細導線。但平行曝光設(shè)備昂貴,投資高,并要求在高潔凈度的環(huán)境下工作。
⑤自動光學檢測技術(shù)采用自動光學檢測技術(shù)。此技術(shù)已成為精細導線生產(chǎn)中檢測的必備手段,正得到迅速推廣應(yīng)用和發(fā)展。
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